阿斯麦交付英特尔首台高数值孔径EUV系统,开创微细加工新纪元
12月22日消息,荷兰半导体设备制造领军企业阿斯麦(ASML)已经确认向英特尔交付了首台高数值孔径(NA)的极紫外(EUV)光刻系统。这一重要的技术突破将为微细加工领域带来革命性的变革。
数值孔径,作为衡量光学系统能够收集的光的角度范围的参数,通过增大数值孔径,可以实现更小的分辨率和更高的分辨能力。这意味着,这台新型的EUV光刻系统能够满足微细加工的高要求,为芯片制造业带来巨大的潜力。
据了解,每台这种新型EUV系统的造价超过了3亿美元,相当于约21.4亿元人民币。这种高昂的价格反映出了其先进技术和重要性。它不仅可以满足一线芯片制造商的需求,还有望在未来十年内推动更小、更强芯片的制造。
阿斯麦发布了这台机器的一些照片,这些照片显示机器的一部分被装在一个保护盒里,周围还系着一条红丝带。这象征着对这一科技壮丽成就的庆祝和纪念。
阿斯麦发表了一份声明,表示他们非常兴奋和自豪能够向英特尔交付他们的首台高数值孔径EUV系统。这显示了该公司对自己的技术和产品的自信。
这台EUV系统在组装后将比一辆卡车还大,需要250个单独的板条箱来运输,其中包括13个大集装箱。预计从2026年或2027年开始,它将用于商用芯片的制造。除了英特尔,台积电、三星、SK海力士和美光等领先的芯片制造商也已经订购了这款高度先进的机器,以确保他们在微电子领域的竞争力。这标志着科技领域的一项巨大进步,有望推动半导体行业的不断发展和创新。
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